キヤノンアネルバ株式会社
※2015〜2019年度
| 件数 | 4 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 285 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 300mm FOUP対応シリコンゲルマニウム化学気相成長装置 | 279 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 反応性イオンエッチング装置修理点検作業 | 6 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 配線用スパッタ成膜装置E-400S 冷却水ライン部品交換作業 | 0 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 配線用スパッタ成膜装置E-400S 冷却水ライン修理 | 0 |
