光洋サーモシステム株式会社
※2015〜2019年度
| 件数 | 4 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 51 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 縦型熱酸化炉 | 49 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | ウエハ搬送ロボットオーバーホール作業 | 2 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | タッチパネル修理 | 0 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 横型熱処理炉のボートローダーワイヤー修理 | 0 |
