株式会社ＴＣＫ
※2015〜2019年度
| 件数 | 5 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 104 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 内閣府 | 沖縄国際物流拠点活用推進事業 | 2020 | 新型電子線描画装置の生産体制構築と当該装置を活用した受託製造販売事業の拠点化形成 | 59 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | ミニマル電子ビームリソグラフィープロセスの開発及び試作機製作 | 38 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 真空用ウェハ搬送ユニット開発評価 | 6 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | ウェハ搬送ユニット修理 | 1 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 2inchウェハホルダー | 0 |
