株式会社エリオニクス
※2015〜2019年度
| 件数 | 4 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 346 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 文部科学省 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構施設整備に必要な経費 | 2020 | 電子ビーム描画用設備の整備 | 152 |
| 経済産業省 | 戦略的基盤技術高度化・連携支援事業 | 2017 | ウェハーサイズ３次元ナノインプリントモールド用超高速電子ビーム加工装置の研究開発 | 67 |
| 経済産業省 | 戦略的基盤技術高度化・連携支援事業 | 2016 | ウェハーサイズ３次元ナノインプリントモールド用超高速電子ビーム加工装置の研究開発 | 67 |
| 経済産業省 | 戦略的基盤技術高度化・連携支援事業 | 2018 | ウェハーサイズ３次元ナノインプリントモールド用超高速電子ビーム加工装置の研究開発 | 60 |
