ギガフォトン株式会社
※2015〜2019年度
| 件数 | 9 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 1,233 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | 革新的な省エネルギー技術の開発促進事業（旧：戦略的省エネルギー技術革新プログラム） | 2015 | 高効率ＬＰＰ法ＥＵＶ光源の実証開発 | 573 |
| 経済産業省 | 革新的な省エネルギー技術の開発促進事業 | 2017 | 高繰返し高出力ハイブリッドＡｒＦエキシマレーザの開発 | 173 |
| 経済産業省 | 高効率･高輝度な次世代レーザー技術の開発事業 | 2016 | ④共通基盤技術開発 | 150 |
| 経済産業省 | 高効率･高輝度な次世代レーザー技術の開発事業 | 2018 | ④共通基盤技術開発 | 119 |
| 経済産業省 | 高効率･高輝度な次世代レーザー技術の開発事業 | 2017 | ④共通基盤技術開発 | 118 |
| 経済産業省 | 高効率･高輝度な次世代レーザー技術の開発事業 | 2020 | ④共通基盤技術開発 | 48 |
| 経済産業省 | 高効率･高輝度な次世代レーザー技術の開発事業 | 2019 | ④共通基盤技術開発 | 39 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2020 | 波長１４８５ｎｍ帯固体レーザ増幅器を使った半導体露光用深紫外シードレーザの研究開発 | 10 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2019 | 波長１４８５ｎｍ帯固体レーザ増幅器を使った半導体露光用深紫外シードレーザの研究開発 | 3 |
