株式会社オキサイド
※2015〜2019年度
| 件数 | 8 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 264 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | 中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業 | 2016 | 次世代半導体の生産性を上げる新方式連続波高出力深紫外線レーザ | 57 |
| 経済産業省 | 中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業 | 2017 | 次世代半導体の生産性を上げる新方式連続波高出力深紫外線レーザ | 43 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2019 | 半導体検査装置用２６６ｎｍ高出力ピコ秒パルスファイバレーザ光源システムの実用化開発 | 33 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2019 | 周期分極反転波長変換デバイスによるライフサイエンス用実時間デュアル光コムスペクトロスコピーシステムの実用開発 | 33 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2018 | 半導体検査装置用２６６ｎｍ高出力ピコ秒パルスファイバレーザ光源システムの実用化開発 | 33 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2018 | 非周期分極反転波長変換デバイスによるライフサイエンス用実時間デュアル光コムスペクトロスコピーシステムの実用開発 | 33 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2017 | 非周期分極反転波長変換デバイスによるライフサイエンス用実時間デュアル光コムスペクトロスコピーシステムの実用開発 | 16 |
| 経済産業省 | 国際研究開発事業 | 2017 | 半導体検査装置用２６６ｎｍ高出力ピコ秒パルスファイバレーザ光源システムの実用化開発 | 16 |
