次世代型超低消費電力デバイス開発プロジェクト
府省庁: 経済産業省
事業番号: 0285
担当部局: 産業技術環境局 商務情報政策局 研究開発課 情報通信機器課
事業期間: 2013年〜2015年
会計区分: エネルギー対策特別会計エネルギー需給勘定
実施方法: 交付
事業の目的
ビッグデータ時代を迎え、サーバー等のIT機器の消費電力量は飛躍的に増大しており、また現在の逼迫した電力需給と相まって、当該分野の省エネ化は喫緊の課題。本事業では、半導体回路の微細化や、ロジック集積回路と共存可能な新たな機能材料やデバイス構造に基づく超低電圧・不揮発動作デバイス技術、材料・プロセス技術等の開発を行い、IT機器の消費電力の大幅な低減を目指し、低炭素社会の実現に寄与する。
事業概要
本事業は以下の革新的な微細化、低電圧化技術により、IT機器の大幅な低消費電力化・小型化・高性能化と低電圧駆動化を実現する。
①EUV（極端紫外線）による微細化・低消費電力技術開発
次世代のEUV露光システムに必要なマスク及びレジスト材料に係る加工・評価基盤技術等を確立。10nm台以細の半導体の製造を可能とし、IT機器の大幅な低消費電力化・小型化・高性能化を実現。
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発
新構造・材料による低電圧化を実現するための次世代デバイスの基盤技術を確立、0.4Vの超低電圧化を実現。
予算額・執行額
※単位は100万円
| 年度 | 要求額 | 当初予算 | 補正予算 | 前年度から繰越し | 翌年度へ繰越し | 予備費等 | 予算計 | 執行額 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | - | 3,300 | 0 | 0 | 0 | 249 | 3,464 | 3,464 |
| 2014 | - | 4,197 | 0 | 85 | 0 | 476 | 4,736 | 4,736 |
| 2015 | - | 2,000 | 0 | 22 | 0 | 295 | 2,317 | 2,317 |
成果目標及び成果実績（アウトカム）
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発 ⅰ半導体デバイスの駆動電圧：0.4V
①EUV（極端紫外線）による微細化・低消費電力技術開発 ⅰマスクブランク欠陥 検出感度 ⅱマスクパターン欠陥 検出感度 ⅲレジスト材料 対応線幅 （目標：2015年度に11 nm）
| 年度 | 当初見込み | 成果実績 |
|---|---|---|
| 2013 | - nm | 16 nm |
| 2014 | - nm | 11 nm |
| 2015 | - nm | 11 nm |
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発 ⅱ超格子メモリを用いたメモリシステムの動作電力：66mW、平成27年度 33mW
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発 ⅰ半導体デバイスの駆動電圧 （目標：2014年度に0.4 V）
| 年度 | 当初見込み | 成果実績 |
|---|---|---|
| 2013 | - V | - V |
| 2014 | - V | 0.4 V |
| 2015 | - V | - V |
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発 ⅲナノカーボン配線で実現するシート抵抗の値：3Ω/□
②革新的な次世代型低消費電力デバイス開発 ⅱ超格子メモリを用いたメモリシステムの動作電力 （目標：2015年度に33 mW）
| 年度 | 当初見込み | 成果実績 |
|---|---|---|
| 2013 | - mW | - mW |
| 2014 | - mW | 66 mW |
| 2015 | - mW | 33 mW |
活動指標及び活動実績（アウトプット）
本事業で確立を目指す技術の実用化に向けて、事業期間中に特許出願につながった成果の件数（特許出願件数）
| 年度 | 当初見込み | 活動実績 |
|---|---|---|
| 2013 | 20 件 | 63 件 |
| 2014 | 20 件 | 58 件 |
| 2015 | 20 件 | 70 件 |
主要な支出先
| 年度 | 支出先 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|
| 2014 | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | プロジェクトマネジメント業務 | 4,736 |
| 2014 | 超低電圧デバイス技術研究組合 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 2,331 |
| 2015 | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | プロジェクトマネジメント業務 | 2,317 |
| 2014 | 株式会社ＥＵＶＬ基盤開発センター | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発（共同研究） | 1,602 |
| 2015 | 株式会社先端ナノプロセス基盤開発センター | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 1,000 |
| 2014 | 株式会社ＥＵＶＬ基盤開発センター | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発（委託） | 705 |
| 2015 | 株式会社先端ナノプロセス基盤開発センター | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 642 |
| 2015 | 株式会社東芝 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 493 |
| 2015 | 株式会社日立製作所 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 96 |
| 2014 | 株式会社荏原製作所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 45 |
| 2014 | レーザーテック株式会社 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 22 |
| 2015 | レーザーテック株式会社 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 22 |
| 2015 | 株式会社荏原製作所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 22 |
| 2015 | 東邦エンジニアリング株式会社 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 20 |
| 2015 | みずほリサーチ＆テクノロジーズ株式会社 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 19 |
| 2014 | 兵庫県立大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 8 |
| 2015 | 兵庫県公立大学法人 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 8 |
| 2015 | 東京エレクトロン株式会社 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 8 |
| 2015 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 6 |
| 2014 | 学校法人東京理科大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2014 | 国立大学法人京都大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2014 | 国立大学法人大阪大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2015 | 学校法人東京理科大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2015 | 国立大学法人大阪大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2015 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2014 | 株式会社工業市場研究所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 5 |
| 2014 | 国立大学法人名古屋大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2014 | 国立大学法人東京工業大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 4 |
| 2014 | 学校法人芝浦工業大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2014 | 学校法人慶應義塾 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2014 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 4 |
| 2014 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2015 | 学校法人芝浦工業大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2015 | 慶應義塾 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 4 |
| 2014 | 国立大学法人東京大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 3 |
| 2014 | 国立大学法人大阪大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 3 |
| 2015 | 国立大学法人東京工業大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 3 |
| 2015 | 国立大学法人大阪大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 3 |
| 2015 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 3 |
| 2015 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 3 |
| 2015 | 株式会社荏原製作所 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 3 |
| 2014 | 国立大学法人筑波大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 2 |
| 2014 | 国立大学法人東京大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 2 |
| 2015 | 学校法人東京工芸大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 2 |
| 2015 | 国立大学法人京都大学 | 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発 | 2 |
| 2014 | 学校法人芝浦工業大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2014 | 学校法人慶應義塾 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2014 | 国立大学法人東京大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2014 | 国立大学法人京都大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2014 | 国立大学法人大阪大学 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2014 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 1 |
| 2015 | 国立大学法人東北大学 | 0 |
レビューシートを開く
